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應(yīng)用

APPLICATION

VHG-M光柵周期測試系統(tǒng)開啟VR/AR光學(xué)器件質(zhì)效革命

當(dāng)你的VR 眼鏡出現(xiàn)模糊時，問題可能藏在納米級光柵里
消費(fèi)者抱怨AR 設(shè)備畫面不清晰？工業(yè)質(zhì)檢員反復(fù)校準(zhǔn)色度計(jì)？這些問題的根源往往指向光柵元件的微觀缺陷——
?納米級的周期誤差可導(dǎo)致意想不到的光線傳輸
?K 矢量畸變引發(fā)光線傳播串?dāng)_，造成成像模糊、色偏
?傳統(tǒng)接觸式測量劃傷鍍膜層、精度低、無法精確測試K 矢量
卓立光柵測試系統(tǒng)，重新定義納米級光柵器件的質(zhì)量基線

設(shè)備內(nèi)部實(shí)拍

一、Littrow 結(jié)構(gòu)+糾偏算法：破解衍射光柵的"基因密碼"
Littrow 結(jié)構(gòu)示意圖
▌λ/10000--0.02nm 級光柵周期解析精度
基于Littrow 自準(zhǔn)式入射結(jié)構(gòu)，系統(tǒng)通過精密調(diào)整入射角與衍射光強(qiáng)反饋，實(shí)現(xiàn)0.02nm 級光柵周期測試靈敏度。相較傳統(tǒng)透射電子顯微鏡、原子力顯微鏡分析法，分辨率提升100倍。
▌0.005°--K 矢量高精度測試
獨(dú)家算法實(shí)時解算光柵面內(nèi)K 矢量角度，K 矢量精度可達(dá)0.005°，全面監(jiān)測光柵器件面內(nèi)K矢量異常。某AR 光波導(dǎo)客戶借此將產(chǎn)品調(diào)試周期從48 小時縮短至6 小時。
▌支持多種光柵參數(shù)測試
光柵測試系統(tǒng)支持多類型光柵測試，包括：閃耀光柵、反射全息光柵、透射全息光柵和布拉格體全息光柵等。助力VR、AR 行業(yè)客戶。（實(shí)際使用請咨詢）
二、硬核技術(shù)矩陣：實(shí)驗(yàn)室精度，工業(yè)級可靠性
? 卓立四軸軸微米級定位系統(tǒng)
位移軸光柵尺反饋，重復(fù)定位精度±3μm，閉環(huán)分辨率：1μm
旋轉(zhuǎn)軸光柵尺反饋，重復(fù)定位精度±0.003°，閉環(huán)分辨率：0.000152°
支持Φ254mm 超大光柵片全域mapping，40s 完成單點(diǎn)測量，較手動調(diào)節(jié)效率提升50 倍。
光柵mapping 結(jié)果
三、從實(shí)驗(yàn)室到產(chǎn)線：全場景解決方案
? 科研模式
開放API 接口，支持自定義測量Recipe，支持自定義數(shù)據(jù)處理。
? 工業(yè)模式
真空吸附，自動上下料，無縫對接MES/QMS 系統(tǒng)，全自動檢測
四、系統(tǒng)關(guān)鍵參數(shù)一覽表
 

單點(diǎn)周期重復(fù)精度

≤0.02nm

單點(diǎn)周期絕對精度

≤ ±0.1nm

單點(diǎn)光柵面內(nèi)矢量角絕對精度

≤±0.01°

單點(diǎn)光柵面內(nèi)矢量角重復(fù)精度

≤±0.005°

單點(diǎn)測試時間

45s

可測光柵類型

反/透全息光柵、閃耀光柵、全息體光柵

可測光柵尺寸

小于 8 英寸（支持定制）