說明：
QF 系列是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機(jī)構(gòu)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直線滑臺。該系列滑臺具有 高穩(wěn)定度、高分辨率，精密位移，大負(fù)載的功能。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機(jī)構(gòu)，工作過程沒有摩擦， 無灰塵產(chǎn)生，沒有爬行現(xiàn)象。直線電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，齒槽小，分辨率高，輕松實(shí)現(xiàn)亞微米級定 位需求。產(chǎn)品尺寸較多，可以根據(jù)需要靈活選擇， QF 系列產(chǎn)品適合用于半導(dǎo)體行業(yè)或其他對于 精密位移亞微米級調(diào)整有需求的客戶。臺面多種標(biāo)準(zhǔn)孔位的安裝孔適合不同需要，下方標(biāo)準(zhǔn)固定 孔方便將其與其他滑臺連接，組成多維移動(dòng)臺。
特點(diǎn)：
· 采用氣浮靜壓導(dǎo)軌，運(yùn)動(dòng)無爬 行，直線度好，負(fù)載可控制， 穩(wěn)定性好；
· 采用直線電機(jī)，微步能力好，驅(qū) 動(dòng)力可控，速度穩(wěn)定；
QF系列氣浮導(dǎo)軌滑臺命名規(guī)則：
QF 25-300 S-BNA
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QF 系列代碼： QF:單軸空氣軸承類滑臺 QFD:XY組合空氣軸承類滑臺 QFH:龍門組合空氣軸承類滑臺 |
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25 臺面寬度： 25:250mm 30:300mm |
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300 有效行程： 100:100mm 200:200mm 300:300mm |
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S 基座材質(zhì)： A:鋁合金 S:大理石 C:碳化硅 |
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B 分辨率： 1:0.1 μm S:50nm B:20nm |
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N 電機(jī)類型： N:無鐵芯 M:有鐵芯 |
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A 臺面材質(zhì)： A:鋁合金 T:其它 |
以上命名規(guī)則除技術(shù)規(guī)格列表內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，其余配置請聯(lián)系銷售進(jìn)行定制。
QF系列氣浮導(dǎo)軌滑臺選項(xiàng)表
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型號 |
QF25-100A-BNA |
QF25-200A-BNA |
QF25-300A-BNA |
QF25-400A-BNA |
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臺面尺寸(mm) |
245x200(運(yùn)動(dòng)方向) |
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厚度(mm) |
120 |
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移動(dòng)量(mm) |
100 |
200 |
300 |
400 |
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光柵尺分辨率(nm) |
20 |
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驅(qū)動(dòng)方式 |
無鐵芯直線電機(jī) |
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導(dǎo)軌 |
一體式靜壓導(dǎo)軌 |
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雙向重復(fù)精度(μm) |
0.4 |
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無修正定位精度(μm) |
1.2 |
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直線度(μm) |
2 |
2.5 |
3 |
3 |
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俯仰(arcsec) |
4.5 |
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偏擺(arcsec) |
2.1 |
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主體材料及表面處理 |
鋁合金，黑色硬質(zhì)陽極氧化處理 |
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中心負(fù)載(Kg) |
10/μm |
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型號 |
QF25-400S-BNA |
QF25-500S-BNA |
QF25-600S-BNA |
QF25-800S-BNA |
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臺面尺寸(mm) |
290x200(運(yùn)動(dòng)方向) |
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厚度(mm) |
189 |
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移動(dòng)量(mm) |
400 |
500 |
600 |
800 |
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光柵尺分辨率(nm) |
20 |
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驅(qū)動(dòng)方式 |
無鐵芯直線電機(jī) |
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導(dǎo)軌 |
氣浮腳式靜壓導(dǎo)軌 |
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雙向重復(fù)精度(um) |
0.3 |
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無修正定位精度(μm) |
1.2 |
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直線度(μm) |
2 |
3 |
5 |
5 |
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俯仰(arcsec) |
2 |
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偏擺(arcsec) |
2 |
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主體材料及表面處理 |
大理石，鋁合金 |
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中心負(fù)載(Kg) |
15/um |
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說明 ：
1.以上測試數(shù)據(jù)在使用TMC-NET-2L 控制系統(tǒng)下，采用GB/T17421.2 雙軸線擬合下，采用等級為VC-C 環(huán)境下隔振系統(tǒng)所測試；
2.測試用氣體0.5MPa 壓縮空氣，做過濾和除水工藝；
3.測試環(huán)境介于萬級~十萬級潔凈空間內(nèi)；
4.測試溫度20±1℃,濕度40~60%。
特點(diǎn)和選型指導(dǎo)
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項(xiàng)目 |
xxxA |
xxxS |
xxxC |
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材質(zhì) |
鋁合金 |
大理石 |
碳化硅陶瓷 |
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導(dǎo)軌長度(mm) |
200~800 |
400~3000 |
400~2000 |
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外形尺寸(mm) |
超小~中 |
中~超大 |
小、中、大 |
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制作方式 |
機(jī)加工 |
磨削 |
燒制 |
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重復(fù)精度(μm) |
0.3 |
0.3 |
0.25 |
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直線度(μm) |
1~3 |
2~5 |
2~3 |
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組合形式 |
X, XY(小) |
X、XY、龍門 |
X、XY、龍門 |
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造價(jià)(元) |
1~10 |
5~100 |
50~1000 |
尺寸圖：
13810146393
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